光學電子束蒸發式鍍膜機
詳細說明
產品特點:
設備專門用于IT制造業結構件真空鍍膜加工,各系統單元和總體 構成滿足光學和功能薄膜生產工藝要求,蒸發鍍膜方式,生產效率高,加工范圍寬,適用于AR膜,NCVM顏色膜、金屬裝飾膜、金屬功能膜、AF功能膜等。
該鍍膜機采用立式箱體,前置室門上裝有觀察窗,頂部安裝夾具傘架,底部安裝蒸發源和離子源,
后置排氣法蘭連接高真空泵;
1)前級真空:由旋片泵、羅茨泵構成;
2)高真空:擴散泵、超低溫冷凝水捕集泵(Polycold), 真空室和擴散泵冷阱。
3)抽氣系統:由各級泵、管道和閥門,在系統的控制下完成啟動、粗抽精抽、待命和維持流程。
主要技術參數
1、成膜系統
1)電子槍:10KW, 電子束偏轉角 270 度;
2)終端霍爾型離子源,3KW。
3)雙舟阻抗式蒸發源(共5KW),用于鍍制 AF 膜層。
2、工作模式:
離子清洗、電子束蒸發,石英晶體薄膜厚度控制器監控膜厚并自動判停。
3、工藝流程:
裝夾 - 抽真空 - 離子清洗 –電子槍蒸鍍- 阻抗式蒸發AF - 進氣、出爐。
4、功率:
總功率 120KW,平均功率60KW。
5、設備外尺寸及總重:
1)主框架及控制柜,不開門 W5600×D6300×H3170,開門 W5600×D8500×H3170。
2)粗抽泵組及粗抽管占地:W2000×D1500。
3)主框架外部必要的操作和維護維護空間:水平方向外延伸 800mm; 垂直向上延伸 400mm。
4)總重:15 噸